從智能手機(jī)到新能源汽車(chē),MEMS元件應(yīng)用于各行各業(yè),并有逐漸取代現(xiàn)有零部件的趨勢(shì)。尤其在汽車(chē)領(lǐng)域,采用MEMS技術(shù)制作的傳感器不僅用于燃油車(chē),在電動(dòng)汽車(chē)上也不可或缺。其中備受矚目的無(wú)人駕駛技術(shù),就需要大量使用MEMS技術(shù)制作的元件來(lái)實(shí)現(xiàn)。
用途1、燃油汽車(chē)用MEMS傳感器
燃油汽車(chē)上使用了很多MEMS傳感器。在發(fā)動(dòng)機(jī)控制中,各種MEMS壓力傳感器被用來(lái)檢測(cè)氣體和液體。壓力傳感器被安裝在各種環(huán)境中,并根據(jù)不同條件進(jìn)行封裝。
用途2、電動(dòng)汽車(chē)用MEMS傳感器
在燃油車(chē)向電動(dòng)汽車(chē)轉(zhuǎn)變的過(guò)程中,車(chē)載信息娛樂(lè)系統(tǒng)也朝著多元化、智能化方向發(fā)展,為駕駛者提供數(shù)據(jù)智能分析、智能語(yǔ)音、車(chē)內(nèi)環(huán)境檢測(cè)等個(gè)性化服務(wù)。以MEMS傳感器為首的多個(gè)MEMS元件成為支撐該系統(tǒng)的重要部件。
(1)導(dǎo)航系統(tǒng)
導(dǎo)航系統(tǒng)使用加速度傳感器、陀螺儀傳感器、地磁傳感器等各種MEMS傳感器,與汽車(chē)的運(yùn)動(dòng)聯(lián)動(dòng),在屏幕上顯示各種信息。加速度傳感器還被用在安全氣囊上。當(dāng)汽車(chē)與其它物體發(fā)生碰撞時(shí),加速度傳感器可以讀取沖擊力,使安全氣囊膨脹。
(2)音響系統(tǒng)
MEMS 揚(yáng)聲器具有緊湊、輕量和節(jié)能的特點(diǎn),越來(lái)越多地用于車(chē)載環(huán)繞聲系統(tǒng)。將其配置在車(chē)內(nèi)的座椅、頂篷、車(chē)門(mén)等處,能提供強(qiáng)勁的三維音效。即使安裝數(shù)量增加,也不會(huì)增加占用空間,與傳統(tǒng)的揚(yáng)聲器負(fù)載相比,還能減輕車(chē)輛的重量。
(3)車(chē)內(nèi)環(huán)境檢測(cè)
隨著自動(dòng)駕駛技術(shù)的發(fā)展,車(chē)內(nèi)環(huán)境也將成為關(guān)注的焦點(diǎn)。車(chē)內(nèi)空氣質(zhì)量(如二氧化碳濃度)的可視化也將變得更加重要,預(yù)計(jì) MEMS 傳感器將被用于這種測(cè)量。此外,為創(chuàng)造更舒適的車(chē)內(nèi)環(huán)境,氣味傳感裝置及其它相關(guān)裝置的研發(fā)也在不斷開(kāi)展。未來(lái)會(huì)有更多種類(lèi)的MEMS元件應(yīng)用到汽車(chē)上。
在迎來(lái)CASE時(shí)代的汽車(chē)領(lǐng)域,美蓓亞三美可提供各種MEMS元件。在無(wú)人駕駛技術(shù)中, “激光雷達(dá)”是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)駕駛的重要一環(huán),其使用的“MEMS鏡“由美蓓亞三美提供。
在圍繞自動(dòng)駕駛進(jìn)行的各種研究和實(shí)驗(yàn)中,“激光雷達(dá)(Light Detection And Ranging)”技術(shù)備受關(guān)注。該技術(shù)利用激光照射周?chē)矬w進(jìn)行二維或三維傳感,感知物體的形狀和運(yùn)動(dòng)。以往激光雷達(dá)使用電機(jī),目前正在開(kāi)發(fā)使用 MEMS 鏡片的激光雷達(dá),以實(shí)現(xiàn)設(shè)備小型化。
?除了傳統(tǒng)電機(jī)和 MEMS 設(shè)備外,美蓓亞三美還開(kāi)發(fā)了 LATM(Limited Angle Torque Motor)。這是一種基于獨(dú)特磁路設(shè)計(jì)的旋轉(zhuǎn)往復(fù)式執(zhí)行器,可實(shí)現(xiàn)對(duì)激光雷達(dá)鏡面角度的高速、高精度控制,為汽車(chē)駕駛的智能化、自動(dòng)化發(fā)展提供技術(shù)助力。
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