力傳感器是一種測量作用力和扭矩的大小、方向的傳感器,相當于人的五感,它能賦予機器人等機器細膩的感覺。6維力傳感器是能夠測量X、Y、Z軸上的力(力),X、Y、Z軸旋轉方向上的力(力矩/扭矩)的力傳感器。
基于MEMS技術的力傳感器可以測量力和力矩,握持時的平衡也可以測量旋轉方向的力。通過將力傳感器搭載在機器人上,可以實現(xiàn)接近人類感覺的作業(yè)。
力傳感器的檢測方式有應變計式、壓電式、光學式、電容式等,主要用于機器人的手腕部分。小型力傳感器以MEMS工藝制造的產品為主,使用磁性、壓力、壓電元件等,可用于檢測機械手手指上的力。
美蓓亞三美的緊湊型6軸力傳感器采用MEMS技術,實現(xiàn)了Φ9.6 x 9 mm的小尺寸,使其能夠用于以前無法使用的狹窄區(qū)域。
6維力傳感器是數(shù)字式輸出,與模擬傳感器相比對噪聲的耐受性更強,數(shù)據(jù)的準確性更高。由于使用半導體工藝,具有很好的量產性能同時還能兼具小型化和高額定。
目前6維力傳感器多安裝在機械臂的手腕部分,主要用于去除毛刺和研磨等工作。以往機械臂僅能做出規(guī)定的動作,而安裝了6維力傳感器的機械臂可以自由且簡單地做出合適工作的動作,可以做出比以往更細致的動作。此外,6維力傳感器還用于風洞實驗中測量葉片的升力,以及作為傳感器收集數(shù)據(jù)。
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