MEMS壓力傳感器有什么應用？

壓力傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電信號并輸出的裝置，主要由將壓力轉(zhuǎn)換成電信號的壓力敏感元件和處理電信號的信號處理裝置組成。壓力傳感器有MEMS、電阻式、電容式、壓電式和光學式等多種類型，廣泛應用于各種設(shè)備中。

一、MEMS壓力傳感器

美蓓亞三美使用 MEMS 技術(shù)和應變片技術(shù)來制造壓力傳感器，其特點是接口的輸出格式也分為模擬和數(shù)字兩種。此外，MEMS壓力傳感器具有更小的量程，可用于-50kPa-50kPa的領(lǐng)域。

二、MEMS壓力傳感器的應用

MEMS壓力傳感器可用于血壓計和其他醫(yī)療設(shè)備的袖帶壓力測量，也可用于燃氣表泄漏檢測、異常壓力檢測和燃料供應壓力檢測。主要的應用領(lǐng)域如下所示。

1、自動化工廠中的壓力傳感器

工廠自動化行業(yè)使用 MEMS 壓力傳感器的一種方式是控制工廠所用設(shè)備的氣壓（氣體壓力）和液壓，并利用測量到的信息進行適當?shù)脑O(shè)備操作。

有些機器手也是利用壓力的 "吸力型 "設(shè)備，可以通過 MEMS 壓力傳感器進行精細控制，在不損壞產(chǎn)品的情況下處理要抓取的產(chǎn)品。

2、血壓計用壓力傳感器

美蓓亞三美作為主要的血壓計用壓力傳感器供應商，在日本本土及海外都設(shè)有生產(chǎn)基地，生產(chǎn)的MEMS 壓力傳感器已應用于多種血壓計。

3、汽車行業(yè) 壓力傳感器被安裝在汽車內(nèi)部的各種環(huán)境中，并根據(jù)不同條件進行封裝。如在發(fā)動機控制中，壓力傳感器被安裝在進氣、排氣、汽油罐等部位用于檢測氣體和液體。此外，為防止電動汽車使用的鋰電池出現(xiàn)熱失控，使用壓力傳感器的電池監(jiān)測技術(shù)正在不斷開發(fā)。

MEMS壓力傳感器結(jié)合了半導體技術(shù)和傳感器技術(shù)，將電子電路和機械元件集成為一個獨立組件，使產(chǎn)品 "更小、更輕、更精密"，在提升設(shè)備性能和便利性，促進設(shè)備小型化和輕量化等方面發(fā)揮了重要作用。